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鉭酸鋰拋光液,LT拋光液,晶圓拋光

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鉭酸鋰(LiTaO3)拋光液

所屬分類(lèi):拋光液      發(fā)布時(shí)間:2021-02-19

上海新創(chuàng )納電子科技有限公司開(kāi)發(fā)了鉭酸鋰拋光液系列產(chǎn)品,主要包括LT-01、LT-02、LT-1915、LT-1901、LT-1902等系列。目前廣泛應用于國內各大鉭酸鋰晶體晶圓廠(chǎng)家,市場(chǎng)占有率7成以上,歡迎電話(huà)咨詢(xún):186-2157-4686(李博士)。

鉭酸鋰(LiTaO3,簡(jiǎn)稱(chēng)LT)晶體,是集壓電、鐵電、熱釋電、聲光及電光等性能于一體的多功能晶體材料,在聲表面波(SAW)器件、光通訊、激光及光電子等領(lǐng)域中有著(zhù)廣泛的應用,是制作濾波器和諧振器的關(guān)鍵材料。

 

酸性鉭酸鋰拋光液

優(yōu)點(diǎn)

1、拋光速率大于15μm /h。

2、拋光表面平整光滑,無(wú)明顯劃傷,表面粗糙度達到0.2nm以下。

3、酸性?huà)伖庖?,拋光速率較快。

應用:鉭酸鋰等晶圓拋光。

 

堿性鉭酸鋰拋光液

優(yōu)點(diǎn)

1. 拋光速率大于10μm/h 。

2. 拋光表面平整光滑,無(wú)明顯劃傷,表面粗糙度達到0.15nm以下。

3. 堿性?huà)伖庖?,拋光后的的表面質(zhì)量較好。

 

主要指標:LTV<0.5, TTV<3, Ra<0.3。

應用:鉭酸鋰等晶圓的精拋。

鉭酸鋰拋光液

相關(guān)標簽: CMP拋光液  

聯(lián)系人:李博士

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