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CMP化學(xué)機械拋光團隊

上海新安納電子科技有限公司團隊介紹

宋志棠,新安納公司董事長(cháng),特聘研究員,國家超級973、國家集成電路重大專(zhuān)項項目的首席科學(xué)家,第四批國家科技創(chuàng )業(yè)領(lǐng)軍人才,上海市領(lǐng)軍人才、國務(wù)院特殊津貼、跨世紀千百萬(wàn)人才國家級人選。國內PCRAM材料與器件研究的開(kāi)創(chuàng )者,研制出我國第一款PCM芯片,其1500萬(wàn)顆嵌入式芯片在國際首次應用,創(chuàng )立相變八面體基元理論,自主ScSbTe、TiSbTe材料與雙溝道二極管等用于芯片。帶領(lǐng)團隊建立起國內第一條自主的電子級二氧化硅納米磨料生產(chǎn)線(xiàn),研發(fā)出的電子二氧化硅納米磨料和拋光液實(shí)現產(chǎn)業(yè)化,每年產(chǎn)出超億元。在Sciences、Nature comm等期刊發(fā)表511篇論文,他引4517次;國內外授權發(fā)明專(zhuān)利284項。“電子級二氧化硅納米拋光新材料及工業(yè)化制備關(guān)鍵技術(shù)”2016年獲上海市技術(shù)發(fā)明獎一等獎,“相變存儲芯片制造核心技術(shù)及嵌入式應用”2018年獲上海市科學(xué)技術(shù)發(fā)明獎二等獎,相變材料的研究獲得2019年度中國材料研究學(xué)會(huì )科學(xué)技術(shù)一等獎。

劉衛麗,新創(chuàng )納公司總經(jīng)理,二級研究員,國家創(chuàng )新人才推進(jìn)計劃中青年創(chuàng )新領(lǐng)軍人才,曾獲上海市技術(shù)發(fā)明一等獎、中國科協(xié)杰出青年成果轉化獎、國家科技進(jìn)步一等獎等獎項和榮譽(yù)稱(chēng)號。是新安納和新創(chuàng )納兩家公司的發(fā)起人之一,劉博士是國家“十一五”和“十二五”兩項國家重大專(zhuān)項項目負責人和首席科學(xué)家,她帶領(lǐng)團隊建立了具有自主知識產(chǎn)權的電子級二氧化硅納米磨料中試和生產(chǎn)線(xiàn);開(kāi)發(fā)了納米材料生長(cháng)新工藝,從原理和工藝上解決了納米材料粒徑不穩定的問(wèn)題;開(kāi)發(fā)了高效藍寶石拋光液、金屬拋光液、硅片拋光液、氧化硅拋光液等。先后發(fā)表SCI論文一百多篇,被引用1580余次。申請國內外發(fā)明專(zhuān)利98項,其中授權71項(2項為美國專(zhuān)利)。

新創(chuàng )納公司在董事長(cháng)宋志棠博士和總經(jīng)理劉衛麗博士的帶領(lǐng)下,共有博士9名,高級職稱(chēng)7名,研發(fā)人員30多名。既有納米材料制備領(lǐng)域的材料專(zhuān)家,也有來(lái)自于拋光液公司對于磨料的需求和技術(shù)發(fā)展具有深刻理解的人才,還有在集成電路半導體化學(xué)機械平坦化與拋光方面的微電子專(zhuān)家,這幾類(lèi)人才可以保證新創(chuàng )納產(chǎn)品在CMP化學(xué)機械拋光上具有較強的優(yōu)勢。另外公司管理隊伍整體素質(zhì)較高,有著(zhù)良好的知識結構、年齡結構,富有激情和創(chuàng )新精神。

新創(chuàng  )納公司團隊介紹

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